設(shè)備名稱

數(shù)量

單位

技術(shù)參數(shù)

霍爾元件制作平臺及軟件測試系統(tǒng)

1

臺

系統(tǒng)主要組成：霍爾元件制作平臺+綜合評估系統(tǒng)+電腦+配套測試軟件

實(shí)驗(yàn)功能：

通過霍爾元件制作平臺培養(yǎng)學(xué)生制作不同類型霍爾元件的能力；認(rèn)識霍爾元器件的制作工藝流程；學(xué)會使用評估系統(tǒng)來評估整個實(shí)驗(yàn)過程；學(xué)會使用測試軟件來進(jìn)行數(shù)據(jù)的綜合分析，得出合理的結(jié)論。

臺式電腦：（不低于以下參數(shù)配置）

系統(tǒng)：處理器I5-4590；硬盤容量：1T；內(nèi)存容量：4G；顯卡：1G獨(dú)顯；顯示器尺寸：21英寸

變溫霍爾效應(yīng)實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)（電磁液氮）

1

臺

實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)主要組成：真空泵+恒溫器+實(shí)驗(yàn)平臺+電源+電磁鐵+杜瓦瓶

實(shí)驗(yàn)功能：

1、了解HALL效應(yīng)的基本原理。

2、測量HALL樣品在恒定磁場條件下，霍爾電流與霍爾電壓的函數(shù)關(guān)系。

3、測量HALL樣品在恒定霍爾電流條件下，霍爾電壓與外加磁場的關(guān)系。

4、對于存在相變的HALL樣品，變溫情況下，溫度與霍爾系數(shù)，載流子類型之間的關(guān)系。

5、在本儀器上完成上述三種類型的測試，并計算出樣品的相變溫度、載流子類型，載流子密度，載流子遷移率，霍爾系數(shù)。

6、學(xué)習(xí)霍爾效應(yīng)電極接法以及“四電極”電阻測量法，調(diào)整實(shí)驗(yàn)電極接線方式測量實(shí)驗(yàn)元件的磁阻效應(yīng)

7、通過變溫電阻實(shí)驗(yàn)，計算出半導(dǎo)體元件的禁帶寬度

8、通過變溫霍爾實(shí)驗(yàn)，得到霍爾參數(shù)的溫度特性曲線

9、通過霍爾效應(yīng)測量磁感應(yīng)強(qiáng)度以及了解磁場在距離上的衰減分布

主要技術(shù)指標(biāo)

1.      樣品大小：3*3mm-20*20mm （此設(shè)備為專業(yè)配套設(shè)備，可根據(jù)用戶需求進(jìn)行樣品的尺寸調(diào)整）

2.      磁場精度：1高斯，磁場：0至 ± 7000高斯，可即時調(diào)節(jié)磁場大小并實(shí)現(xiàn)在屏幕上顯示磁場強(qiáng)度 ；USB存儲系統(tǒng)，可通過USB接口導(dǎo)出或保存實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)

3.      霍爾電流：范圍1μA 到 200mA 連續(xù)可調(diào)

4.      霍爾電壓：范圍1μV 到 5000μV

5.      控溫精度：±0.1K

6.      控溫范圍：100K 到 330K

7.      恒溫器液氮容量：2000mL

8.      靜止液氮保存時間：大于5小時

9.      數(shù)據(jù)處理：大尺寸高分辨彩色液晶實(shí)時顯示 Hall Voltage vs Field 及 Hall Voltage vs Temperature

10.   計算機(jī)接口：USB數(shù)據(jù)采集接口，學(xué)校自備計算機(jī)和液氮。

11.   提供多種霍爾元件樣品測試，用戶根據(jù)自己的實(shí)驗(yàn)要求更換樣品。

12.   嵌入式觸摸屏軟鍵盤菜單式操作，前端式維修。

13.   磁場正反向調(diào)節(jié)，液晶屏實(shí)時動態(tài)顯示實(shí)驗(yàn)曲線。

14.   以風(fēng)扇散熱保證儀器的運(yùn)行，安全可靠，性能穩(wěn)定，廷長使用壽命。

能夠測量其他自制硅片的霍爾測試。

數(shù)字式硅片 少子壽命實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)

1

套

系統(tǒng)組成：微波組件+激光組件+控制組件+密封滴瓶（鈍化劑）

實(shí)驗(yàn)功能：

了解半導(dǎo)體中非平衡載流子產(chǎn)生和復(fù)合的微觀過程；了解影響復(fù)合壽命測量的相關(guān)因素；理解用微波反射光電導(dǎo)衰減法測量硅片載流子復(fù)合壽命的原理；研究表面鈍化對復(fù)合壽命測量的影響；研究注入水平對復(fù)合壽命測量的影響；驗(yàn)證S-R-H模型的正確性并推算少子壽命；學(xué)會利用注入水平檢查硅片中的個別雜質(zhì)類型；學(xué)會計算非平衡載流子的擴(kuò)散系數(shù)和擴(kuò)散長度；測量復(fù)合壽命的分布。

技術(shù)指標(biāo)：

數(shù)字式硅片少子壽命實(shí)驗(yàn)儀；壽命測量范圍：0.5us~30ms；電阻率下限：≤1.0Ω?cm；測量重復(fù)性：3%

包含：

微波組件：

信號源（自帶隔離）×1；同軸波導(dǎo)轉(zhuǎn)換接頭×1；環(huán)行器×1；彎波導(dǎo)×1

檢波器×1；直波導(dǎo)×3；微波頻率：10.5GHz±20MHz；微波功率：15mW；頻率穩(wěn)定度：2×10-4；幅度穩(wěn)定度：10-2

激光組件：

激光波長：905nm（典型寬度7nm）；激光脈寬：約200ns；激光頻率：約30Hz；激光功率：0~≥50W可調(diào)；樣品測試臺：；Φ160mm金屬測試平臺，含二維坐標(biāo)刻度，精度1mm

控制部分：

微波激光同時控制通斷，激光功率可調(diào)，光子面密度參數(shù)可4位數(shù)字顯示。

樣品盒：含N型和P型單晶硅片各1片

其他：

密封滴瓶×1：裝有鈍化劑（帶滴管）；自由金屬板×1；電源：市電AC220V±10%，50Hz；推薦使用條件：溫度23±2℃，濕度：60%~70%；產(chǎn)品特點(diǎn)；參照國家標(biāo)準(zhǔn)GB/T 26068-2010設(shè)計制造，實(shí)現(xiàn)非破壞性、無接觸測量；激光功率可調(diào)：0~≥50W；激光脈寬窄：約200ns；可控制激光和微波的通斷；可直接從數(shù)字示波器上看到動態(tài)顯示的光電導(dǎo)衰減信號，便于理解載流子復(fù)合過程；可測量N型或P型半導(dǎo)體硅片的復(fù)合壽命。

數(shù)字式硅片少子壽命軟件測試系統(tǒng)

1

套

系統(tǒng)組成：電腦+實(shí)驗(yàn)指標(biāo)評估系統(tǒng)+配套測試軟件+示波器

實(shí)驗(yàn)功能：

學(xué)會使用數(shù)字示波器、計算機(jī)軟件測量分析復(fù)合壽命；學(xué)會使用實(shí)驗(yàn)指標(biāo)評估系統(tǒng)來評估實(shí)驗(yàn)過程以及實(shí)驗(yàn)報告。

技術(shù)指標(biāo)：

推薦使用條件：溫度23±2℃，濕度：60%~70%

數(shù)字示波器參數(shù)

1）、7英寸彩色大屏,模擬帶寬：100MHz。提供2路模擬通道,模擬通道采樣率：1.0GSa/s，雙通道頻率計數(shù)器：帶有基于硬件的雙通道頻率計數(shù)器，可在大字符顯示器上同時顯示兩個通道的測量結(jié)果；

（2）、具有34種自動測量：周期，頻率，正寬度，負(fù)寬度，上升時間，下降時間，最大值，最小值，峰峰值，中間值，RMS，周期RMS，光標(biāo)RMS，相位，正脈沖數(shù)，負(fù)脈沖數(shù)，上升沿數(shù)，下降沿數(shù)，正占空比，負(fù)占空比，幅度，周期中間值，光標(biāo)中間值，突發(fā)寬度，正過沖，負(fù)過沖，面積，周期面積，高，低，延遲RR，延遲RF，延遲FR，延遲FF2。多種語種界面支持，在線多語種上、下文相關(guān)幫助；

（3）、具有示波器課件功能：新型課件功能建立了一個教育生態(tài)系統(tǒng)，把強(qiáng)大的PC 課程編輯器軟件與儀器和課件登錄頁面結(jié)合起來。通過新功能，教育工作者能夠創(chuàng)建實(shí)驗(yàn)室說明和指令，然后把材料直接上傳到示波器。在工作空間文件加載到儀器中時，學(xué)生可以使用前面板上的“Course”按鈕，方便地訪問內(nèi)容。通過使用示波器軟鍵和多功能旋鈕，學(xué)生可以訪問至少8個課程，每門課程不少于30個實(shí)驗(yàn)。為了適應(yīng)多個班級使用同一臺儀器的情況，示波器上可以存儲不少于100 MB的課程教材。一旦選擇了一個實(shí)驗(yàn)，學(xué)生可以溫習(xí)概況部分，使用分步程序執(zhí)行實(shí)驗(yàn)，收集數(shù)據(jù)，檢查和保存數(shù)據(jù)結(jié)果，生成報告，顯示為程序每一步創(chuàng)建的波形，所有這些工作都可以在示波器上直接完成。

（4）、配置PC軟件：可通過USB接口與計算機(jī)通訊作數(shù)據(jù)交換及編程，可通過Microsoft Word和Excel工具欄插入程序傳輸和保存設(shè)定值，波形，測量值和屏幕圖；

（5）、標(biāo)配課件PC軟件，課件實(shí)驗(yàn)實(shí)例，探頭ABC應(yīng)用指南，示波器XYZ應(yīng)用指南；

臺式電腦：（不低于以下參數(shù)配置）

系統(tǒng)：處理器I5-4590；硬盤容量：1T；內(nèi)存容量：4G；顯卡：1G獨(dú)顯；顯示器尺寸：21英寸；

智能楊氏模量實(shí)驗(yàn)儀

25

套

力學(xué)、幾何量的測量均通過傳感器自動測量，測量結(jié)果能自動顯示。力學(xué)量程：≥50Kg，力學(xué)量分辨率：≤1kg/pc，幾何量程：≥50cm，幾何分辨率：≤10^-3mm，幾何增益：10，樣品更換方便。提供四金屬絲樣品：φ0.5 mm，φ1.0 mm，φ1.5 mm，φ2.0mm。